曝光機細對位系統
電洽
◆ 視覺辨識(four CCD) ◆ 位移對位(X/Y/Y Table)◆ 對位模式(上/下/上下) ◆ IPC+軸卡+影像卡◆ I/O 或 RS-232 連線◆ 自動化對位軟體